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線傳感器 CHRocodile CLS | CLS HS
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高速狀態下精 確在線質量控制


精密、非接觸式 CHRocodile CLS 線共焦傳感器可實現高速在線測量,確保質量控制。四倍光 CHRocodile CLS HS 有助于實現更快的測量速度。


優勢特性
? 高效:高速,超精密,非接觸式測量
? 免維護
? 測量穩定,易于集成到生產線
? 同步在線輪廓測試,可更換光學探頭



CHRocodile CLS是所有材料超快3D檢測工業化較好的選擇,即使在惡劣的工業環境中也表現良好。測量穩定且高度集成的設計非常便于傳感器集成到生產線檢測設備中。


CHRocodile CLS白光共焦線陣傳感器包含192個在線測試點,在6kHz的測量速率下,每秒可采集1.13M像素的數據。超大的動態范圍和優異的信噪比,適用于包括具有拋光和高傾斜表面在內的所有材料的測量。


超高的測量速度和精度的集成使該傳感器為半導體晶圓和芯片缺陷檢測,航空材料形貌檢測,高 端手表零件外觀檢測打開了新的測量維度。


高效

?高速
?非接觸式

?超高精度


多功能
?實時輪廓測量
?在線檢測
?可更換光學探頭

?距離和厚度測量


用戶友好&安 全
?免維護
?測量穩定
?易于集成到生產線
可用配置

可用配置:探頭90°偏轉

          

探頭垂直

                                             


應用

半導體 汽車 消費產品



?凸起的晶圓高度和形狀檢測
?檢測區域:1.91 mm x 2.2 mm
?單次檢測422,400個點
?掃描時間0.11 s
?機械零件的外形,深度和裂紋分析
?檢測區域:1.91 mm x 6 mm
?掃描時間1.5 s

?3D智能手機蓋板玻璃形貌剖面

?單次測量表面溝槽的點,尺寸和玻璃與周圍

邊框之間的間隙尺寸

?在6kHz采樣頻率時,每秒可采集1.13M個像素的數據

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